2005年5月
材質:SUS304
平面度:0.05μｍ（50ｎｍナノメータ）
平行度0.2μｍ |
May,2005
Material: SUS304 Stainless Steel
Flatness:0.05 micro meter
Parallelism:0.2 micro meter |
材質別の粗さ実績
(外形サイズ50mm角程度) |
サイズ別の平坦度達成実績
(厚みが十分に厚い場合）
材質：SUS・超硬･焼入れ鋼・
ｾﾗﾐｯｸｽ・石材など |
| ステンレス |
Ra0.001μｍ |
φ20mm |
0.03μm |
| ニッケル（Ni) |
Ra0.002μm |
φ50mm |
0.05μm |
| セラミックス |
Ra0.003μm |
φ100mm |
0.1μm |
| タンタル（Ta) |
Ra0.003μｍ |
φ300mm |
1μm |
| チタン（Ti) |
Ra0.003μm |
1000*1000(石定盤） |
3μm |
| バナジウム（V) |
Ra0.003μm |
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| パラジウム(Pd) |
Ra0.003μm |
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| タングステン（W) |
Ra0.003μm |
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| アルミ（Al) |
Ra0.005μm |
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| 銅（Cu) |
Ra0.005μm |
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| モリブデン（Mo) |
Ra0.005μm |
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※その他の材質・サイズご不明な点はお問い合わせ下さい。
tdc@mirror-polish.net
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